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光學微電子淨化工程一般包括:

作者: 來源: 日期:2018-1-16 14:32:35 人氣:14

光學微電子淨化工程一般包括:

1、 潔淨生產區

2、 潔淨輔助間(包括人員淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息)

4、 設備區(包括淨化空調係統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)


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